按冷却方式可分为油淬和气淬，按工位数可分为单室式和双室式。904山威敏炉属周期性操作炉。真空油淬火炉均为双室，后室设有电加热元件，前室顶部为油箱。将工件移入加热室之后，再将工件移入加热室。关闭中门后，前室充入惰性气体约2.66%26次；10 Pa至1.01%26次；200至760 mm Hg。油淬火容易引起工件表面劣化。另外，精密钢管炭黑与油在表面的粘附不利于简化热处理工艺。真空淬火技术的发展主要在于开发性能优良、工作位置单一的风冷淬火炉。上述双室炉也可用于前室的气淬和空气喷射冷却，但双工位操作使炉内难以大量加载，在高温之下容易引起工件变形或改变工件方位，增加淬火变形移动。单工位风冷淬火炉在加热保温完成之后，在加热间之内进行喷射冷却。气冷冷却的冷却速度不如油冷却快，也低于传统淬火方法之中的等温淬火和分步淬火。因此，提高喷雾室压力、增大流量、使用摩尔质量小于氮气和氩气的惰性气体氦气和氢气是真空淬火技术的主流。20世纪70年代初，氮雾冷却的压力从&40；1-2&41；%26倍；10Pa提高到&40；5-6&41；%26倍；10Pa，使冷却能力接近常压下的油冷。
